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第280章 檢驗 (上)

對防水這個屬性進行過優化設計,不過光刻膠從原料屬性上屬於樹脂的一種本身就具備一定的防水特性。

    光刻之後的顯影工序本身就需要用純水沖洗顯影液,因此只要不選用遇水溶解的光分解型光刻膠,短暫的實驗性生產光刻膠應該不影響晶片的最終成品,當然,這些都是技術大佬三人組理論上的預想,最終如何還需要實際行動來驗證。

    「好,開始吧。」

    「大少你來按啟動按鈕吧。」

    「不用了,不用了,誰離得近誰按,要不是有點心急,我都不來這裏湊熱鬧了。」

    最終,站在光刻機旁邊的聶曉天按下了設備的工作健。


    港基集電目前的光刻機大概能有七八立方米大小,設備近似於一個超大的黑箱,晶片曝光時的過程肉眼根本看不見,設備工作更沒什麼聲響,雖然晶片和航天都是人類的尖端科技,但論起視覺效果這兩者簡直天差地別。

    由於不需要把整個晶圓的面積全部生產利用上,光刻機曝光了十次就停止了工作,在電機的推動下工作枱緩緩的從光刻機中退出,開始把晶圓向後續工藝推送。

    曝光之後是顯影,顯影之後是堅膜,再之後工藝進入了檢測程序,這步工藝是對晶圓的顯影結果進行檢測,合格的晶圓進入後續的刻蝕等流程,不合格的晶圓在清洗後進入最初流程重新來過。

    不過對於實驗室中的眾人來說,檢測這一步幾乎就足夠判定新方法的生死了,在電子顯微鏡下成與不成一目瞭然。

    梁遠是啥都不懂,只能看着王欣坐在檢測設備前通過電子顯微鏡觀察著剛剛出爐不久的晶圓。

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