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第120章:干法蝕刻

。到如今當然已經不適用了。

    得到了化學蝕刻出現問題之後,沈丹青非常重視,他立刻召集了相關科研單位商討對策。

    說實話,他們是第一次見到這個問題。用化學方法蝕刻這麼微小的圖形,本來就很神奇。現在卻說這種方法不行,要另想辦法。這可真的難住他們了,他們一時也沒有了好辦法。最後還是沈丹青記起了前世的一些書上講過,蝕刻分為濕法蝕刻和干法蝕刻。因此對他們說:「試試干法蝕刻,或許要好許多。」

    「老闆,什麼是干法蝕刻?你能祥細的告訴我們嗎?」化學研究所的所長王波就站出來問他。沒辦法誰讓化學蝕刻技術是化學研究所的主要責任呢?

    「先聲明啊!我不懂具體原理。我只知道在一定的氣壓壓力下,電漿離子與氧化矽或銅起反應或高速撞擊,使之同樣氣態電離化,然後用抽氣機抽走。又進行同樣的步驟,直至蝕刻出我們需要的圖形。這種方法能減少侵蝕,得到比較陡邊的圖形。應該來說會比濕法蝕刻好得多,也精密得多。不管怎麼樣!大家先試試看吧!」沈丹青將他所知道的隻言片語講了出來,具體的技術和方法就要他們去研究了。

    「老闆,具體點,是哪幾種電漿,你知道嗎?」王波以希翼的語氣問他。他自己也知道老闆可能不知道,所以才用這樣的語氣請問他。


    「我怎麼知道?我又不是科學家,我只不過是看到書上提到了幾句,具體的原理和方法,還要你們自己去實驗,我是幫不了的。」果然不出王波所料,老闆不知道。而且他還講的理直氣壯,也不知道他是從哪本書上看到的。要知道他們這些專業的科學家都不知道,也真是怪了。老闆經常神神秘秘的,好多的先進技術,都是從他的嘴裏講出來的,雖然只有皮毛,但是起碼有了方向,不再是一無所知。

    「大家聽我說,剛才老闆己經為我們指明了方向,我們就以這個方向為突破口。我剛才大體考慮了一下,覺得非常可行。許多技術,我們在研製離子注入機的時候己經掌握了。這種新方法,無非是在離子注入機技術的基礎上加上了化學反應。而未知的游離電漿,我也有了初步的預判。我們只研究與氧化矽和銅起反應的兩種電漿。其它的蝕刻,還是釆用濕法蝕刻,不會影響成品率。那麼這兩種電漿就是我們化學研究所的任務了。其它的機體部分,還是和離子注入機差不多。我們先試着干吧!……」

    王波主動的站出來發言,話還沒講完,就被沈丹青打斷了:「很好,剛才王所長的講話非常有見地。我現在任命王所長為這次干法蝕刻設備研發的事業部部長。其他人都要聽從他的指揮,他還可以從整個公司調配人力和資源。為了提高你們的急極性,我提早告訴你們一個好消息。」

    沈丹青的話沒講完,在場的人的心思就紛紛蠢蠢欲動了。老闆嘴裏說出的好消息,那一定錯不了。

    大家的舉動,沈丹青都看在眼裏。他不僅沒有氣惱大家打斷他的話,反而非常高興的接着說:「只要這套晶片生產設備,研發成功。具備一定的精確度和良品率,我們就會去長沙設立第一家晶片製造工廠。工廠正式投產之後,所有參與研發晶片製造設備的工作人員,你們的欠款,全部一筆勾銷。怎麼樣?這個獎勵大家滿意嗎?」

    整個會場,一時失聲。大家都太震驚了,不敢想像老闆既然能給這麼重的獎勵。要知道,參與研發人員,至少都是工程師級別的技術員。級別高了,他們欠公司的錢也就更多,少的也欠了上百萬,多的欠了幾百萬,比如各研究所的所長。這次獎勵,比他們這幾年工作所得的工資和獎金還要多,能不讓他們興奮嗎?「哦!」會場響起了一片歡呼聲,老闆的獎勵太給力了,他們一時控制不住自已興奮的情緒,沒有任何人例外。

    沈丹青看着會場上的人員的反應,滿意地點了點頭,他要的就是這種效果,只有不斷激勵大家,他們才能給他更大的回報。這點錢算什麼,後世納米級別的晶片製造設備,沒有幾十億你想都別想,單位還是美金。中國人想買,他們還不會賣給你。現在長勝集團自已研發了全套技術,先不管先進與否,只要有了,以後就可以不斷改進。能與歐美並駕齊驅,這種感覺就像毒品一樣,令沈丹青深深的迷醉。

    未完待續……



第120章:干法蝕刻  
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