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第249章 兩手抓兩手都要硬

    測試廣告1沈靖又轉過頭去和吳博士小聲交流着。讀書都 www.dushudu.com

    陳舟卻把注意力轉移到了實驗裝置上。

    剛才,吳博士的話提醒了他。

    在金剛石摻雜實驗中,載流子濃度,會影響霍爾遷移率。

    而霍爾遷移率便直接反應着金剛石中硼元素的摻雜程度。

    此外,硼元素的摻雜,是通過向MPCVD法製備金剛石薄膜的反應室中加入硼源來實現金剛石的硼摻雜的。

    硼源的話,一般會採用含硼的氣體,像B2H6和B(CH3)3。

    當硼的摻雜濃度較高時,製備的金剛石摻雜是包含了許多點缺陷、線缺陷和面缺陷的。

    這些缺陷會捕獲載流子,影響金剛石材料的霍爾遷移率,進而影響製備的硼摻雜金剛石。

    「果然,無論是金剛石薄膜本身的製備,還是摻雜實驗下的單晶金剛石的製備,都是矛盾的實驗……」陳舟心裏想到。

    想了想,陳舟跟吳博士說了一聲,便去n型摻雜實驗那邊了。

    正如吳博士所說,n型摻雜比p型摻雜要難得多。

    對於p型摻雜,還能參考這自然界的樣本。

    但是n型摻雜,只能不斷摸索。

    說起來,n型摻雜的磷元素,就是從氮元素、硫元素、鋰元素這些,一步步摸索過來的。

    磷的共價鍵半徑是碳的1.4倍,能級位於導帶底以下0.58MeV。

    因為這些性質,磷在金剛石薄膜中可以形成淺能級,所以是實現金剛石n型摻雜的理想元素。

    但是,n型磷摻雜金剛石的載流子遷移率仍然是遠低於p型硼摻雜。


    陳舟找到了彭飛,輕聲問道:「實驗進行的怎麼樣?」

    彭飛指了指正在進行中的實驗裝置:「還行吧,和前幾次沒多大差別。」

    頓了頓,他看着陳舟,笑着說道:「就看你們處理數據的結果了。」

    聞言,陳舟笑了笑:「我們盡力。」

    彭飛又說道:「有什麼需要幫忙的,儘管說。」

    陳舟點點頭:「放心,我不會客氣的。」

    說完,兩人相視一笑。

    相比於其他人,這個一開始便被安排去高鐵站接他們的彭飛,給陳舟的感覺要舒適很多。

    想了想,陳舟問道:「現在金剛石中磷的摻雜濃度是多少?」

    彭飛倒沒直接回答,而是說道:「因為磷的摻雜濃度直接影響載流子遷移率,當載流子濃度較低時,電離雜質散射影響較小,遷移率較高。」

    「在2012年P博士等人通過降低(100)晶面金剛石中磷的摻雜濃度,將室溫載流子遷移率提高至780cm2(V·s)。」

    「所以,我們在他們的基礎上,進一步降低了磷的摻雜濃度。這10組實驗磷的摻雜濃度,是在4×10^15cm3~2×10^15cm3區間內依次選取的。」

    陳舟點了點頭,10組實驗互為對照。

    陳舟又想起來一件事,便問道:「明天的共摻雜實驗,也是你這邊進行的吧?」

    彭飛回道:「沒錯。共摻雜的實驗,其實也是n型摻雜。只不過,不管是我們採用的MPCVD法在生長過程中摻雜,還是採用離子注入的方法,用單一元素去實現金剛石的n型摻雜,依然很難。」

    「但是通過將兩種或兩種以上的元素摻入金剛石,去實現金剛石的n型導電,就容易多了。」

    頓了頓,彭飛繼續說道:「在單一元素n型摻雜中,氮元素和硫元素都不是適合的選項。但是在共摻雜中,硼和氮的共摻,硼和硫的共摻,還有磷和氮的共摻,卻都可以實現金剛石的導電性。」

    聽完彭飛的話,陳舟轉而問道:「這個課題主要是對金剛石和金剛石半導體材料製備的研究,那對於性質的研究呢?」

    彭飛指了指遠處的吳博士,說道:「吳博士的另一個課題組負責研究金剛石半導體材料的性質和應用。」

    說完,彭飛看了一眼陳舟,輕聲笑道:「怎麼?金剛石半導體材料的性



  
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