新世紀之後,電子束直寫技術在晶片領域的應用大部分局限於科研和掩膜領域。筆神閣 bishenge.com
在電子晶片日益複雜的未來,加工一枚晶片的平均時間已經增長到了七個小時,如果晶片構造特別複雜加工一枚晶片的時間甚至高達六、七十個小時。
不過在九十年代,還有企業或研發機構試圖用多光速同時加工的方式來突破電子束生產效率低下的桎梏。
比如通過多光源和多透鏡使得同時工作的電子束高達上千束。
就算上千束電子束同時工作,在九十年代晶片結構比較簡單的時代也只是堪堪追上曝光式光刻機的生產效率而已,不過多光束電子束光刻機三倍於曝光式光刻機的昂貴成本依舊打不開光刻機的主流市場。
當然,由於可以直接加工晶圓的緣故,電子束直寫技術是加工曝光式光刻機掩膜模板的最佳技術。
王欣、劉飛揚、聶曉天三人一人數句的把光刻機市場的技術前景和大致的陣營和梁遠一一的介紹了一遍。
最後,王欣總結着說道:「大少也知道,真論起研發力量我們和主流大廠肯定沒法比,港基集電順利發展到現在,有大半發展機遇是大少抓住國內特殊國情,利用時間差成差的戰略在撐着,光刻機是產線最核心的設備,多路研發就算我們有錢,人也是不夠的。」
王欣停頓了一下,繼續說道:「我們內部已經快要達成共識,大部分人都贊同走193n光源的技術路線,一個原因是193n光源應用很廣,在醫療、工業、科教等領域都有着很廣泛的應用,可以大幅度的降低研發成本,還一個原因就是從產業前沿傳來的消息,193n之後的光源研發很不順利,有大概率會卡住幾年,對於我們這種落後一方來說,這個機會十分的難得,有追上國際一線水準的可能。」
「大少,電子束直寫技術由於在線寬上的巨大優勢,幾乎比主流曝光技術先進四到五代,這就直接導致了在生產掩膜模板這個電子束直寫技術最大的應用領域中,完全不必要使用最先進的技術,線寬不用說落後五代,哪怕是四代在國際上也是爛大街的東西,只要有錢隨便買~~」
劉飛揚十分了解梁遠的心思,直接說明了這玩意壓根就沒人卡脖子。
「大少拉出來的戰線太長,我們又沒大少的天賦只能盡力收束力量,把研發力量集中到一個領域~。」
聶曉天和梁遠混在一起的時間最長,在梁遠的影響下說話時沒什麼顧慮,把理由說得十分直白。
電子產業,若是說終端消費梁遠還能底氣十足的說到說到,若是說工業化大生產,除了未來流傳很廣的一些名詞,其他的梁遠是一竅不通。
光刻機這玩意就屬於梁遠一竅不通的那種。
被互聯時代洗禮過的民群體兩極分化的厲害,一部分人在知識面廣博之後認為自己天上地下我最牛逼,不管啥話題都敢裝專家,還有一部分卻被知識的深度所征服,清醒的認識到知道得越多自己越無知。
梁遠就是屬於後者,因此除了決定方向性的大戰略,梁遠早就徹底放手港基集電的日常管理,自然對港基集電內部這些關於技術方向的站隊問題不算了解。
梁遠聽三個技術大佬說完,才算對光刻機領域有了較為詳細的了解。
「那,外邊那位該怎麼應付?」梁遠問道。
梁遠覺得,這年頭能在國內搞電子產業的都是人才,就這麼放棄了心裏總有點不得勁。
「改行唄~」
「我們和交換來電子束物理氣相沉積技術的前前後後,包括我在內很多人可是站隊電子束直寫技術的,後來還不是都改行了。」
王欣笑着說道。
國內叫領導或長官意志,海外叫權威意志或資本意志,科研哪可能一點外界影響都不受,梁遠喜歡逮到一個有前景的技術往死里深挖,早就在遠嘉高管中人所共知。
受梁遠這種思維影響,和交換技術前後電子束直寫技術在港基集電內部一度成了研發光刻機的紅技術。
不過梁遠知道收束自己的權利,不懂的東西不亂發表意見,下邊雖然有拍馬屁的心思,但終究還沒演變到學術站隊那種程度,港基集電投入技術力量深入了解一番之後,電子束直
第267 製程線路之爭 (下)