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第一百零四章 傳統的手段

    第一百零四章

    正所謂,數理化不分家。讀書都 www.dushudu.com

    顧律是數學和物理的雙料博士,沒有理由,化學能夠差到哪去。

    納米二氧化鈰粉末的製備,非常簡單。

    首先,稱取一定量的e(no)-6h2o 和六亞甲基四胺,配置成1:5的混合液。

    第二步,混合液置於75攝氏度恆溫水箱中水浴保溫半小時。

    第三步,在室溫環境下陳化,用離心法分離沉澱。

    最後一步,將沉澱洗滌後置於真空乾燥箱中,在80攝氏度下烘乾。

    這樣,經過以上四步之後,就可以得到納米二氧化鈰超細粉體。

    二氧化鈰粉體呈球形,徑粒分佈較均勻,徑粒約為10納米。

    更重要的是,二氧化鈰質地較為柔軟,作為拋光磨料再也適合不過。

    穿戴好白色的實驗服,戴好手套口罩,顧律有條不紊的開始操作。

    將近一個小時後,顧律提着一個藍色的塑料小瓶,走出房間。

    「顧先生,怎麼樣?」一直在門外等候的林經理走上前來問道。

    「一切順利。」顧律摘下口罩,笑呵呵的把手中的塑料瓶遞給張經理,「我把實驗服換下來,然後我們再一塊去樓下車間試試效果。」

    …………

    幾分鐘後,顧律和張經理兩人再次走進車間。

    黃師傅拿着一塊矽晶片板,一臉苦笑的走過來,「和顧先生說的一樣,這次的精度測試和之前相同,表面粗糙度都在1納米以上。」

    顧律接過那塊矽晶片,放在手中翻轉仔細看了一下,然後用手指感受了一下觸感,點點頭,「應該就是拋光液的原因,正好二氧化鈰拋光液已經製備出來了,再上機試一下吧。」

    「我想這次,結果肯定會和之前大不相同的。」顧律嘴角上揚,語氣中帶着無比的自信。

    拋光機夾持住矽晶片,接着放入納米二氧化鈰粉末拋光液,最後,按下啟動按鈕。

    機器開始運轉。

    顧律抱着胳膊,雙眼緊盯着儀器。


    同時,腦海中不停回憶着在普林斯頓大學圖書館中,看過關於這方面的內容。

    在單矽晶片的化學機械拋光過程中,是主要存在化學腐蝕作用和機械磨削作用。

    材料的去除,首先源於化學腐蝕作用。一方面,在拋光過程中,矽片表面局部接觸點產生高溫高壓,從而導致一系列複雜的摩擦化學反應。

    納米二氧化鈰拋光液,其具有較高鹼性組分和較柔軟的納米磨料顆粒。

    在這兩者作用下,使矽片表面形成腐蝕軟質層,從而有效地減弱磨料對矽片基體的刻劃作用,提高拋光效率和拋光表面質量,相應的,提高拋光後矽晶片的精度。

    …………

    半個小時的時間,一晃眼就過去。

    機器和矽晶片摩擦的聲音逐漸減小,直到消失。

    設備停下後,張經理和黃師傅齊齊把目光看向顧律。

    顧律笑了笑,「拿出來吧。」

    黃師傅小心翼翼的將通過使用二氧化鈰拋光液製得的矽晶片取出來。

    「你們用什麼設備看?」顧律掃視了一眼,發現這邊並沒有顯微鏡之類的設備。

    「樓上有一台原子力顯微鏡。」張經理笑着開口。

    原子力顯微鏡?

    顧律知道,這玩意似乎貴的很。

    再次回到那棟五層小樓,不過那台原子力顯微鏡就在一樓,倒是省去了爬樓的功夫。

    走進那棟十幾平的小房間,顧律一眼就看到了張經理口中所說的那台原子力顯微鏡。

    「米國di公司產的utiode sp版原子力顯微鏡?」在實驗室待過一段時間的顧律,一眼就認出來。

    「你們買的?」顧律扭頭看向張經理。

    據他所知,這台顯微鏡可不便宜,市場價,大概在二三十萬元!

    就算是大部分高校的實驗室,都買不起這台設備。

    張經理苦笑着搖搖頭,「租的。」

    顧律:「……」

    好吧,看這家公司連買二



  
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