1980年左右,中科院半導體所開始研製jk-1型半自動接近式光刻機,於1981年研製成功兩台樣機。
而由於美國在50年代就已經擁有了接觸式光刻機,相比之下,中國落後了將近20年,同時國外從1978年開始轉向分步重複投影光刻,此時中國科學界也認識到,分佈投影光刻技術的優越性,但限於國內工業技術差難以實現。
在1978年世界上第1台dsw光刻機問世不久,機電部第45所,就開始跟蹤研究分步式光刻機,對標美國的4800dsw,1985年研製出了bg-101分部光刻機樣機,並通過電子部技術鑑定,認為達到了美國同類產品水平,而當時採用的是436納米g線光源。
這也就意味着1985年的時候,中國在高科技領域與國外的差距拉近到了7年左右,也就是達到了美國1978年的水平。
可以看出國產光刻機。研發在上世紀70年代後期起不直到80年代,後期技術一直在推進,並且取得了一定的代表性成果。
然而到了80年代中後期,中國卻因為技術封鎖以及買辦思想盛行,造成了光刻機的落後。
當時的巴統協議不批准向中國出售先進的設備,國外工藝線已用0.5微米的設備時,卻只對我國出口1.5微米的設備,整整差了三代,此外8組還規定對我國出口的光刻機鏡頭na必須小於0.17,既只能有二微米以上的解像度。
所以說目前段雲從日本東芝引進的三微米晶片製程生產線,是正好符合巴統協議要求的,而目前日本最先進的0.9微米製程的晶片生產線,是巴統協議嚴格禁止對中國出口的。
段雲如果想製作出一微米製程的晶片,目前是不可能從國外直接買到現成設備的,只能靠國內研發。
因為買辦思想的盛行,當時中國的光刻機雖然技術領先,但是也遇到很多的問題,因為搞研發就需要有很多的資金投入,但這些資金投入之後,有一些技術上的問題,在當時又不能夠很好的解決,因此看到國外很多先進的設備之後,國家也就放棄了,對設備的研發變成了購買。
這樣最終就導致了中國的光刻機研發上完全停滯,很多搞光刻機研發公司因為沒有資金的支持就變得岌岌可危,最後公司也倒閉破產。
段雲如果想製作出世界領先的nand閃存晶片,並且在閃存晶片領域保持長期的優勢地位,那就必須要有更先進的光刻機。
在摩爾定律下,每18個月集成電路上可容納的電晶體數目就會增加一倍,這就需要生產晶片的光刻機保持疊代。
段雲可以選擇投資開發國產光刻機,但投入的資金比較大,而且周期也比較長,有點遠水解不了近渴。
經過一番思考後,段雲決定做兩方面的準備,一方面就是和國內的科研院所相關機構合作,共同開發工作機。
另外一方面就是要想方設法從國外直接購買作為先進的一微米製成光刻機,解決當前的晶片生產線升級問題。
但是從哪一家購買光刻機卻成了一個問題。
後世的人一提起光刻機,很容易就想起了荷蘭的阿斯麥公司,而在1988年的時候,阿斯麥公司在光刻機領域並沒有多大的名氣,而且這家公司幾乎瀕臨破產,甚至連發工資的錢都沒有了。
早年的阿斯麥誕生於飛利浦物理實驗室和飛利浦科學與工業部,城市一群天才科學家所說的玩具。
20世紀70年代荷蘭經濟衰退,出現經營危機的飛利浦喪失了不斷的興趣,想要將投資了上億美元的阿斯麥實驗室剝離出去。
最開始項目負責人找了三家公司洽談光刻機的合作事宜,最終都以失敗告終。
直到1984年的時候,s&i和asm成立合資公司阿斯麥,雙方各佔50%股份。
但公司成立之初,這家合資公司除了十幾台光刻機庫存,賬戶上只有30萬美元。
此時全世界光刻機市場共有10多個玩家,既有佔據較大市場份額的美國公司,也有虎視眈眈的新秀,日本尼康和佳能,阿斯麥在這一領域完全墊底,市場份額可以忽略不計。
所以從一開始的時候,